순수장치 (Deionizer System)
역삼투막(R.O Membrane)에 의한 초순수의 제조
초순수란 일반적으로 10㏁ /cm~18㏁ /cm 이상의 전기적 저항 (Electrical resistivity)을 가진 물리 ·화학적으로 화합물질 및 합성물질 등이 거의 존재하지 않는 고순도의 순수를 말한다 . 따라서 초순수 제조장치의 응용은 사용목적 및 요구되는 수질 (Quality)에 따라 System의 선택적 설계가 필요하며 목적에 적합한 초순수를 지속적으로 생산하기 위해서는 장치의 운전 및 유지관리가 용이하여야 한다 . 또한 정교한 System에 의해 생산된 초순수는 주위환경 및 조건에 의해 민감한 변화를 가져 올 수 있으므로 이의 보존 및 관리에 있어서 세심한 주의가 요구된다.
역삼투식 초순수 제조장치에 이용되는 반투막 (Membrane)은 거의 모든 공급원수에 대하여 85%~99.8%의 우수한 고형물질 제거 능력을 가지고 있다 . 따라서 역삼투압 처리장치에 의해 1차 처리된 공급원수를 2차 처리장치인 이온교환장치 MBP(MIXED bed polisher)또는 EDI에 통과시켜 이온물질을 제거함으로써 10㏁ /cm~18.3㏁ /cm의 초순수를 생산해낼 수 있다 .
멤브레인은 최적 조건하에서 1~2년간 지속적으로 사용이 가능하며 간단한 방법으로 교체할 수 있다 .